题目：无源功能薄膜及Si基传感器集成芯片技术

时间：2018年10月28日19:00-21:00

地点：西南石油大学（南充）第四教学楼4317

主办单位：西南石油大学南充校区、科研处

主讲人：张万里

内容简介：随着摩尔定律的持续放缓，集成功能多样化的发展道路成为了更多的选择。芯片化集成需要将无源和敏感材料薄膜化、器件化，并最终与电路IC集成，构成芯片化的微系统。芯片化的过程中主要涉及材料器件集成的关键技术，包括在硅衬底上功能薄膜材料与器件的异质集成技术和异构集成技术。在集成过程中，性能测试逐渐变得具有挑战性，对动态范围、多类型信号、多材料表征以及晶圆级在线无损检测都提出了新的要求；同时由于多种材料和器件的集成，多物理场耦合仿真也成为研究的必要手段。此外，集成化程度提高带来的另一项挑战则是发热的问题，需要通过一系列非传统的方式来克服。

主讲人简介：张万里，男，1966年2月生，重庆铜梁人，中共党员，教授，博士生导师。现任电子科技大学电子科学与工程学院常务副院长，示范性微电子学院院长，电子薄膜与集成器件国家重点实验室副主任，IEEE会员、中国微米纳米技术学会高级会员，中国电子学会元器件分会委员，四川省高等学校优秀共产党员，四川省学术技术带头人，国务院政府特殊津贴获得者，入选国家“有突出贡献中青年专家”和“国家百千万人才工程”。 主持和承担包括国家自然科学基金面上/重点、973重大基础研究、科技部国际合作专项、“863计划”重点项目、国家重点研发计划项目等在内的科研项目30余项；在在APL、JAP、J3M、JMCA等刊物上发表学术论文100余篇，其中被SCI收录80余篇，参编教材1部。主要研究成果获得2007年国家技术发明二等奖1项，国防科学技术奖、教育部技术发明奖、科技进步奖以及四川省科技进步奖共7项，授权发明专利25件，推动了相关核心电子薄膜材料与器件的创新发展。